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Pneumatischer Antrieb - Vakuumventil mit …

Pneumatischer Antrieb für ein Vakuumventil mit integrierter Ablaufsteuerung. Dieser Antrieb dient zur Steuerung eines Ventils in der Vakuumtechnik, die vor allem in der Halbleiter- und Datenspeichertechnik zum Einsatz kommt. Der kompakte Drehantrieb ermöglicht Drehwinkel bis 53° und wird durch eine Feder zurückgestellt. Er hat eine ...

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